江蘇芯夢半導體設備有限公司

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槽式清洗設備

全自動臥式爐管清洗機

Xplaim-ST-HTC

設備概述

主要應用于氧化、擴散、剝膜生長、退火、外延等等工藝的爐管清洗

設備亮點

適用性腔

  • 適用于6”到12”爐管，也適用于清洗其他小型部件

清洗均勻性好

  • 滾動浸泡清洗均勻性好


自動化強

  • 帶機械手臂自動在各槽之間轉運清洗。


定制化

  • 可根據客戶要求定制化設計（槽體數量、藥液供液功能定制、藥液回收Tank等）