江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東吳南路25號(hào)城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號(hào)廠房）

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合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

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圓盒清洗&檢測(cè)解決方案

全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)

Xtrim-FC-A300

設(shè)備概述

Loadport*3 Clean Chamber*3 Vacuum Chamber*3 Robot

設(shè)備亮點(diǎn)

全流程自動(dòng)化

  • 自動(dòng)開(kāi)蓋合蓋、晶圓檢測(cè)、清洗、干燥、抽真空、除濕全自動(dòng)作業(yè)，可與天車系統(tǒng)無(wú)縫對(duì)接。

兼容性強(qiáng)

  • 無(wú)需任何硬件修改即可兼容多種類型的FOUP/FOSB。

工藝性能優(yōu)異

  • Particle、AMC（含VOC）、Outgassing控制。

  • N2 Purge 控制FOUP內(nèi)部濕度。

產(chǎn)能高

  • 每小時(shí)可清洗25至30個(gè)產(chǎn)品

SEMI S2 F47認(rèn)證